- |
令和2年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)「次世代核酸創薬開発を加速させるデリバリーナノ粒子の製造システムの確立」【一般財団法人大阪科学技術センター】 |
- |
- |
経済産業省 |
-
|
- |
[第五回]令和2年度事業再構築補助金(交付申請等) |
40,000,000円 |
- |
中小企業庁 |
jGrants
|
- |
令和元年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(液体原料ガスを用いたミニマルファブ用プラズマ援用多結晶シリコン気相成長装置の開発) |
- |
- |
経済産業省 |
-
|
- |
平成29年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(継続事業)(ヘリコン波プラズマ技術を用いたミニマルファブ用超高速マルチスパッタ装置の開発) |
- |
中小企業経営支援等対策費補助金 |
経済産業省 |
-
|
- |
令和2年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(液体原料ガスを用いたミニマルファブ用プラズマ援用多結晶シリコン気相成長装置の開発) |
2,706,289円 |
- |
経済産業省 |
間接
|
- |
令和元年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)「最先端プラズマ・紫外線照射技術を併用したガス中のヒドロキシルラジカル生成プロセスを活用した制菌システムの開発」【一般財団法人大阪科学技術センター】 |
- |
- |
経済産業省 |
間接
|
- |
令和3年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)「次世代核酸創薬開発を加速させるデリバリーナノ粒子の製造システムの確立」【一般財団法人大阪科学技術センター】 |
2,599,916円 |
- |
経済産業省 |
-
|
- |
令和3年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)「最先端プラズマ・紫外線照射技術を併用したガス中のヒドロキシルラジカル生成プロセスを活用した制菌システムの開発」【一般財団法人大阪科学技術センター】 |
25,593,162円 |
- |
経済産業省 |
間接
|
- |
令和2年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(反応性ヘリコン波プラズマプロセスを用いたミニマルファブ用MEMS向け高速エッチャーの開発) |
2,706,202円 |
- |
経済産業省 |
間接
|
- |
平成29年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(継続事業)(マイクロ波励起プラズマを用いた低ダメージ薄膜形成用ミニマル装置の開発) |
- |
中小企業経営支援等対策費補助金 |
経済産業省 |
-
|
- |
令和2年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)「最先端プラズマ・紫外線照射技術を併用したガス中のヒドロキシルラジカル生成プロセスを活用した制菌システムの開発」【一般財団法人大阪科学技術センター】 |
23,209,316円 |
- |
経済産業省 |
間接
|
- |
令和元年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)「次世代核酸創薬開発を加速させるデリバリーナノ粒子の製造システムの確立」【一般財団法人大阪科学技術センター】 |
- |
- |
経済産業省 |
間接
|
- |
平成29年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(準共鳴型電子サイクロトロン共鳴技術に基づく小型・高密度プラズマ源と、これをコア技術とする3DIC作製を目的とした高速ミニマルエッチング装置の開発) |
- |
中小企業経営支援等対策費補助金 |
経済産業省 |
-
|
2020年04月01日 |
令和2年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(植物成長促進による植物工場の生産性向上を実現する照射環境制御型プラズマ援用種子処理装置開発) |
3,202,661円 |
- |
経済産業省 |
-
|
2019年06月04日 |
令和元年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)「最先端プラズマ・紫外線照射技術を併用したガス中のヒドロキシルラジカル生成プロセスを活用した制菌システムの開発」【一般財団法人大阪科学技術センター】 |
- |
- |
経済産業省 |
間接
|
2019年04月01日 |
平成31年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(植物成長促進による植物工場の生産性向上を実現する照射環境制御型プラズマ援用種子処理装置開発) |
3,179,698円 |
- |
経済産業省 |
-
|
2019年04月01日 |
平成31年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(継続事業)(反応性ヘリコン波プラズマプロセスを用いたミニマルファブ用MEMS向け高速エッチャーの開発) |
2,723,162円 |
- |
経済産業省 |
-
|
2019年04月01日 |
平成31年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(植物成長促進による植物工場の生産性向上を実現する照射環境制御型プラズマ援用種子処理装置開発) |
- |
- |
経済産業省 |
間接
|