| 回次 | 4期前 | 3期前 | 2期前 | 1期前 | 当期 |
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| 氏名又は名称 | 発行済株式(自己株式を除く。)の総数に対する所有株式数の割合(%) |
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| 決算情報 |
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| 認定日 | 届出認定等 | 対象 | 部門 | 企業規模 | 有効期限 | 府省 |
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| 認定日 | 補助金等 | 金額 | 対象 | 府省 | 備考 |
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| 2011年01月01日 | 地域イノベーション・基盤高度化促進委託費 | 8,073,450円 | 先端LSI製造の洗浄工程では多量の酸、アルカリや有機溶剤が使用されているが、環境負荷が大きく廃液処理が重要な問題となっている。本研究開発では、マイクロナノバブルの酸化力と洗浄力を活用し、薬剤を使用しない、若しくは微量に抑えた洗浄技術を確立し、環境対応型洗浄装置の開発と企業化を実現する。 | 経済産業省 | - |
| 2010年01月01日 | 地域イノベーション・基盤高度化促進委託費 | 6,496,350円 | 先端LSI製造の洗浄工程では多量の酸、アルカリや有機溶剤が使用されているが、環境負荷が大きく廃液処理が重要な問題となっている。本研究開発では、マイクロナノバブルの酸化力と洗浄力を活用し、薬剤を使用しない、若しくは微量に抑えた洗浄技術を確立し、環境対応型洗浄装置の開発と企業化を実現する。 | 経済産業省 | - |
| 2010年01月01日 | 地域イノベーション・基盤高度化促進委託費 | 3,150,000円 | 枚葉スピン洗浄装置稼働ソフトの作成。 | 経済産業省 | - |
| 受注日 | 事業名 | 金額 | 府省 | 連名 |
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| 年月日 | 表彰名 | 受賞対象 | 部門 | 府省 |
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| 出典元 | データ取得日 | データ更新日 |
|---|---|---|
| 法人番号システム | 2026年01月14日 | 2024年01月26日 |
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