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平成31年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(IoTデバイス故障解析用プラズマ精密深掘り装置の開発) |
27,943,460円 |
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経済産業省 |
間接
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平成31年度中小企業経営支援等対策費補助金(戦略的基盤技術高度化支援事業)(IoTデバイス故障解析用プラズマ精密深掘り装置の開発) |
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経済産業省 |
間接
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2015年05月01日 |
平成26年度ふるさと名物応援事業補助金(ふるさと名物等支援事業) |
10,000,000円 |
中小企業経営支援等対策費補助金 |
経済産業省 |
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2014年01月01日 |
中小企業経営支援等対策費補助金 |
10,000,000円 |
吸引プラズマによる半導体故障解析用試料作製装置の開発・事業化 |
経済産業省 |
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2011年01月01日 |
地域イノベーション・基盤技術高度化促進委託費 |
42,452,550円 |
微細・多層化する半導体デバイスにとって故障解析は重要であり、且つ、絶縁膜除去等の加工にコストと時間を要し精度も不十分である状況。本研究開発では、加工時間を短縮できる半導体局所加工装置を低価格で実現し、さらに絶縁膜一層毎の除去を可能とすることを目的とするもの。 |
経済産業省 |
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2006年01月01日 |
地域新規産業創造技術開発費補助金 |
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「次世代半導体デバイス多層配線深層部評価用プローバの技術開発 |
経済産業省 |
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2005年01月01日 |
地域新規産業創造技術開発費補助金 |
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次世代半導体デバイス多層配線深層部評価用プローバの技術開発 |
経済産業省 |
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