| 回次 | 4期前 | 3期前 | 2期前 | 1期前 | 当期 |
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| 氏名又は名称 | 発行済株式(自己株式を除く。)の総数に対する所有株式数の割合(%) |
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| 決算情報 |
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| 認定日 | 届出認定等 | 対象 | 部門 | 企業規模 | 有効期限 | 府省 |
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| 認定日 | 補助金等 | 金額 | 対象 | 府省 | 備考 |
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| 2011年01月01日 | 地域イノベーション・基盤高度化促進委託費 | 1,351,350円 | 本研究では、フラットパネル・半導体産業でキーとなっているスパッタ・CVDなどのプロセスにおいて高度な真空制御を行うための全く新しい原理による高信頼・高精度の全圧/分圧真空計を開発することを目的としている。 | 経済産業省 | - |
| 2010年01月01日 | 地域イノベーション・基盤高度化促進委託費 | 10,453,800円 | 本研究では、フラットパネル・半導体産業でキーとなっているスパッタ・CVDなどのプロセスにおいて高度な真空制御を行うための新原理ラムダ方式の真空計を開発することを目的としている。 | 経済産業省 | - |
| 2008年01月01日 | 実用化技術研究開発費補助金 | - | カーボンナノチューブ電子放出管の実用開発 | 経済産業省 | - |
| 受注日 | 事業名 | 金額 | 府省 | 連名 |
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| 年月日 | 表彰名 | 受賞対象 | 部門 | 府省 |
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| 出典元 | データ取得日 | データ更新日 |
|---|---|---|
| 法人番号システム | 2025年12月23日 | 2022年06月10日 |
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